磨削尺寸500mm自動(dòng)化程度自動(dòng) 品牌創(chuàng )技重量680kg 外形尺寸3300*3200*3100mm加工精度0.001 展開(kāi) 日本創(chuàng )技SPEEDFAM半導體全自動(dòng)拋光機 硅片減溥機 硅片研磨機電焊機有:可控硅氣體保護焊機、軟開(kāi)關(guān)逆變埋弧焊機、抽頭式氣體保護焊機、節能交流焊機和逆變co2保護焊機等,它們都有不同的幾種型號。 經(jīng)過(guò)介紹,我們了解到,可控硅氣體保護焊接機
廈門(mén)新瓷材料科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事精密陶瓷材料研發(fā),生產(chǎn)和銷(xiāo)售的科技型企業(yè),為客戶(hù)提供高精度,高品質(zhì)的精密陶瓷零件。提供包括氧化鋁,氧化鋯和氮化硅等新型陶瓷材料,涉及陶瓷成型,燒結,機1、晶圓減薄機的研發(fā)及應用現狀鼉電字工業(yè)芎用設吝半導體材料加工與設備晶圓減薄機的研發(fā)及應用現狀張文斌(北京中電科電子裝備有限公司,北京100176)摘要:介紹了硅片超精密磨削加工
徑向滾圓是將硅單晶棒外徑通過(guò)金剛石磨輪磨削成所需直徑的單晶棒料,并磨削出單晶棒的平面參考面或定位槽,所需設備是滾磨機。 滾磨機的工作原理如下圖所示,將單晶棒夾持在滾磨機工作外徑磨削:由于單晶硅棒的外徑表面并不平整且直徑也比終拋光晶片所規定的直徑規格大,通過(guò)外徑滾磨可以獲得較為精確的直徑。 外徑滾磨的設備:磨床 平邊或V型槽
晶圓減薄機的研發(fā)及應用現狀鼉電字工業(yè)芎用設吝半導體材料加工與設備 晶圓減薄機的研發(fā)及應用現狀 張文斌北京中電科電子裝備有限公司,北京 100176 摘要 :介紹了硅片超精密磨削加工外徑磨削設備:磨削硅棒達指定標準,全球市場(chǎng)規模近10億元 外徑研磨工藝相對簡(jiǎn)單,通過(guò)邊緣磨削加工硅晶棒外徑達到指定標準,方便后續制程進(jìn)行定位。 · 外徑研磨
陶瓷材料的磨削加工是目前已有加工方法中應用多的一種。磨削加工所用砂輪一般選用金剛石砂輪。3 常見(jiàn)的磨削設備：平面磨床,無(wú)心磨床,外圓磨床,內圓磨床,1、晶圓減薄機的研發(fā)及應用現狀鼉電字工業(yè)芎用設吝半導體材料加工與設備晶圓減薄機的研發(fā)及應用現狀張文斌(北京中電科電子裝備有限公司,北京100176)摘要:介紹
硅磨削加工設備,1.本實(shí)用新型涉及半導體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種半導體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工設備。 背景技術(shù): 2.半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料,半導體主硅片和芯片尺寸變化所導致的硅片加工量的增加以及對硅片加工精度和表面質(zhì)量更高的要求,使已有 的硅片加工技術(shù)面臨嚴峻的挑戰。本文詳細分析了傳統硅片加工工藝
硅磨削加工設備,用電設備的效率可以大于1。205(×)用交流電壓表測得交流電壓的數值是平均值。206(√)用鉗形電流表測量三相平衡負載電流時(shí),鉗口中放入兩相導線(xiàn)時(shí)的指示值與放入15.1、該全自動(dòng)多晶硅硅芯倒角磨面加工一體設備,通過(guò)設置有回收泵、連通管和吸塵頭,在使用時(shí),當存放架進(jìn)入到倒角打磨裝置內倒角和打磨,在倒角和打磨的過(guò)程中會(huì )
但是,我國硅片超精密磨削技術(shù)與裝備的整體水平相對落后,對相關(guān)基礎理論和核心技術(shù)缺乏系統研究,致使大尺寸硅片的磨削裝備和工具完全依賴(lài)進(jìn)口,成為硅材料加工制大尺寸碳化硅單晶襯底制備技術(shù)仍不成熟。目前國際上碳化硅芯片的制造已經(jīng)從4英寸換代到6英寸,并已經(jīng)開(kāi)發(fā)出了8英寸碳化硅單晶樣品,與先進(jìn)的硅功率半導體器件相比,單晶襯底尺寸仍
法律狀態(tài) 法律狀態(tài)公告日 法律狀態(tài)信息 授權 權的終止 法律狀態(tài) 授權 權的終止 權利要求說(shuō)明書(shū) 磨削、拋光一體化硅塊加工專(zhuān)用公司通過(guò)定增加大碳化 硅功率器件領(lǐng)域投資,2021 年,公司依靠 5 億募集資金及 3.98 億自有資金投 資碳化硅功率器件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。公司從事芯片設計的控股子公司廣微集成在 SiC 領(lǐng)
(54)發(fā)明名稱(chēng)一種全自勱單晶硅棒切方磨削復合加工一體設備(57)摘要本發(fā)明屬于單晶硅棒加工設備領(lǐng)域,旨在提供一種全自動(dòng)單晶硅棒切方磨削復合加工一體設備其中本文介紹了硅棒磨拋精度要求和機床總體設計方案,針對機床的上下料組件、進(jìn)給滑臺、對中機構、磨削組件等關(guān)鍵部件做了結構和功能介紹,并介紹了磨拋一體機的工作原理及該機床的優(yōu)勢,
